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Sacrificial hardmask ALD with hydrogen peroxide: comparative s
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2奈米以下要靠它?秒懂最強薄膜技術ALD原子層沉積!用超薄材料造出最
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주목받는 ‘원자층 증착(ALD)’ 기술… 글로벌 Top 5 반도체 장비 ‘특허 강자’
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