Dichlorosilane, or DCS as it is commonly known, is a chemical compound with the formula H 2 SiCl 2. In its major use, it is mixed with ammonia (NH 3) in LPCVD chambers to grow silicon nitride in semiconductor processing. A higher concentration of DCS·NH 3 (i.e. 16:1), usually results in lower stress nitride films.

是一种有机化学药品，无色，剧毒，腐蚀性，易燃烧的液化气体，带有刺激性的盐酸味，令人窒息，化学式为SiH2Cl2。 又名 二氯硅烷，分子式SiH2Cl2,分子量101,沸点8.2℃,溶点－122.0. 常温下呈液化气体,25℃液体密度1.25kg/L,极易水解,在空气中冒白烟,有盐酸气味,水分存在下有极强的腐蚀性。 比容：0.239m3/kg（21.1ºC, 101.325kPa） CAS Registry No.：4109-96-0. 应用：半导体外延和 化学气相沉积 工艺中的硅源气体。 有机硅化合物 的生产。 制作 大规模集成电路 所必需 …

二氯矽烷，縮寫 DCS，是一種無機化合物， 化學式 為SiH 2 Cl 2。 二氯矽烷可由 矽烷 和 氯化氫 按化學計量比在 三氯化鋁 催化劑的存在下反應製備： [2] 它也可以利用三氯矽烷來製備： [3] 二氯矽烷遇水 水解，產生多聚矽氧烷（-H 2 Si-O-） n；和氨反應氨解，產生 (-H 2 SiNH-) n[2]。 二氯矽烷可以用來做微電子裡的 半導體 矽 層的起始物料，其優點是它在較低溫度可以分解，並且有較高的矽晶體生長速率。 [3] 二氯矽烷是一種化學性質活潑的氣體，在空氣中可以迅速水解並 自 …

二氯硅烷，缩写 DCS，是一种无机化合物， 化学式 为SiH 2 Cl 2。 二氯硅烷可由 硅烷 和 氯化氢 按化学计量比在 三氯化铝 催化剂的存在下反应制备： [2] 它也可以利用三氯硅烷来制备： [3] 二氯硅烷遇水 水解，产生多聚硅氧烷（-H 2 Si-O-） n；和氨反应氨解，产生 (-H 2 SiNH-) n[2]。 二氯硅烷可以用来做微电子里的 半导体 硅 层的起始物料，其优点是它在较低温度可以分解，并且有较高的硅晶体生长速率。 [3] 二氯硅烷是一种化学性质活泼的气体，在空气中可以迅速水解并 自 …

本品遇水或空气中的水份迅速水解形成氯化氢（盐酸）。 盐酸可致皮肤灼伤和粘膜刺激。 接触后表现有流泪、咳嗽、咳痰、呼吸困难、流涎等。 可引起肺炎或肺水肿。 眼接触可致灼伤，导 …

Dichlorosilane is a flammable and poisonous gas, with a strong repulsive odor. It is easily ignited in air, reacts with oxidizing agents, is very toxic by inhalation, and is a strong irritant to skin, eyes and mucous membranes. Under prolonged exposure to fire or intense heat the container may rupture violently or rocket. dichlorosilane.

熔点−122°C，沸点8.3°C，密度1,22g/cm3，闪点-37°C。 溶于 苯 、 乙醚 等多数有机溶剂。 S26：万一接触眼睛，立即使用大量清水冲洗并送医诊治。 S45：出现意外或者感到不适，立刻到医生那里寻求帮助（最好带去产品容器标签）。 S36/37/39：穿戴合适的防护服、手套并使用防护眼镜或者面罩。 R12：极端易燃。 R14：遇水会猛烈反应。 R23：吸入有毒。 R34：会导致灼伤。 用于合成 硅 的有机化合物。 爱化学提醒您:在使用爱化学之前，请您务必仔细阅读本声明。 …

将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，把得到的二氯二氢硅进行精制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。 mouse,LC50,inhalation,144ppm/4H (144ppm),Archives of Toxicology. Vol. 70, Pg. 218, 1996. ChemicalBook 致力于为化学行业用户提供二氯硅烷的性质、化学式、分子式、比重、密度,同时也包括二氯硅烷的沸点、熔点、MSDS、用途、作用、毒性、价格、生产厂家、用途、上游原料、下游产品等信息。

二氯硅烷是一种反应活性较高的化合物，与许多有机物发生反应。 它可以与醇、醚、胺等亲核试剂发生亲核取代反应，形成硅-氧键、硅-碳键或硅-氮键。 这些反应通常硅原子上的电子亲合性较高而促进。 二氯硅烷还可用作硅橡胶和硅烷烘干剂的原料，以及制备其他有机硅化合物的中间体。 它的反应活性和多功能性，二氯硅烷在有机化学合成和材料科学领域中具有广泛的应用。 最后更新：2024-04-10 22:29:15. 二氯硅烷。 这是一种有机硅烷类化合物，具有挥发性气体的性质。 以 …

2022年11月5日 · 化学性质： Dichlorosilane, SiH2Cl2, is a colourless, toxic, flammable, corrosive liquid shipped at its vapour pressure of 9.1 psig (63 kPa) at 70°F (21°C). liquefied gas with pungent odor. Highly corrosive in humid conditions. Gas density is heavier than air. 物理属性： 无色。 易燃。 有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。 熔点-122℃。 沸点8.2℃。 气体相对密度 (空气＝1)4.599；液体相对密度d4}-122＆gt；。 1.42。