故障檢測與分類（FDC）是一種基於製程設備參數實時監控的工具，旨在通過對設備運行狀況的監測，及時檢測和分類設備故障，預防製程異常。 1.FDC的核心理念：FDC的核心在於通過對製程設備的運行參數進行實時監控和分析，預測並預防設備故障和製程異常，確保設備始終處於穩定運行狀態。 2.FDC的應用場景：FDC適用於半導體、汽車製造等高度依賴設備性能的行業。 通過對設備在不同製程步驟中的參數曲線進行分析，FDC能夠及時發現潛在故障，並進行分類處理，從 …

设备 FDC (Fault Detection and Classification) 中的 U-chart 和 T-chart 是 FDC 中常用的两种控制图，用于帮助分析设备发生故障的原因。 其中，U-chart 主要用于分析事件的计数数据，T-chart 主要用于分析事件的时间数据。

失效偵測與分類系統(FDC)收集機台Temporal資料，並轉為Indicator，進行監控與異常偵測；若有異常發生時，系統立即發出警訊並對產品與機台採取適當應變措施 (如: 停機， Hold Lot，通知工程師..等)，避免異常產品的持續發生。

2012年8月29日 · To address real requirements, this study aims to develop a framework for semiconductor fault detection and classification (FDC) to monitor and analyze wafer fabrication profile data from a large number of correlated process variables to eliminate the cause of the faults and thus reduce abnormal yield loss.

2021年2月2日 · 控制图（control chart）是对过程质量特性值进行测定、记录、评估，从而监察过程是否处于控制状态的一种用统计方法设计的图。 图上有中心线（Central Line，CL）、上控制限（Upper Control Limit，UCL）和下控制限（Lower Control Limit，LCL），并有按时间顺序抽取的 …

We present a novel method to simultaneously detect and classify faults in a single-step using fault-specific control charts. These control charts are designed to discriminate between specific fault classes and the normal process operation as well as all other fault classes.

2024年4月28日 · fdc sv追踪数据是关键，通过ai和机器学习进行异常检测，提高系统准确性和效率。 同时，介绍了Trace Data的关键要素，如晶圆ID、芯片位置坐标和测试ID等，用于故障分析和质量控制。

Terra FDC高频次采集机台生产工艺中的关键数据，利用算法和经验模型，包括统计学算法、工艺模型的算法和人工智能算法，预配置参数的限制值，持续监控设备参数，以对设备健康状态提供主动而快速的反馈，如侦测到设备故障，则采取相关警报和控制功能。

FDC系统通过虚拟端口软件直连从设备采集数据，需支持InterFace A协议，支持最高10Hz的采集频率； 有较多的异构形态的数据采集需求，数据解析逻辑可配置，无需编码；

2023年1月9日 · 格创东智半导体故障侦测及分类fdc系统，对多种数据进行分析和挖掘，建立完善监控模型，实现对设备异常状况的高效监控、提前预警，为异常分析和干预提供强大工具，整体提高设备运行效率和生产力。