聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope，简称FIB-SEM)双束系统是指同时具有聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)功能的系统。 通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探…

fib-sem联用系统 离子柱与电子柱装配到同一仪器上，便构成了FIB与SEM全部功能的集合体，俗称聚焦离子束显微镜或双束电镜，它的主要功能分两部分： （1）FIB的刻蚀和沉积，可用于材料微加工、TEM样品制备、金属沉积。

fib-tem制样. tem样品需超薄，以便电子穿透形成衍射图像。fib因高效溅射能力，常用于优化tem超薄样品的制备。 制备过程包括：标记感兴趣区域并沉积pt，先铣削大沟槽，再铣削小沟槽，同时用cdem检测器监控进度。随后，减小光束和电流，逐步铣削至500nm厚度。

FIB技术 （聚焦离子束）是什么. 利用静电透镜将离子束聚焦成2~3nm的离子束轰击材料表面，以实现对材料的剥离、沉积、注入、切割和改性等纳米加工操作。 FIB技术的优势有哪些？ 1.操作简单、前处理步骤少，对样品污染和损害程度相对低；

2018年6月14日 · The Scanning Transmission Electron Microscope (STEM) scans the specimen surface in a rectangular (raster) pattern using a focused beam of electrons from a probe. The specimen must be prepared by making extremely thin slices to ensure that electrons are able to pass through and be scattered by the specimen.

2009年4月30日 · The focused ion beam technique (FIB) is an ideal tool for TEM sample preparation that allows for the fabrication of electron-transparent foils with typical dimensions of 15 × 10 × 0.150 µm from any region of interest (i.e., site-specific) and in virtually any material.

2023年12月8日 · 西湖大学物质科学公共实验平台于2023年初投入运行了一套聚焦离子束-电子束双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用系统 (FIB-SEM TOF-SIMS)，这对于透射电镜样品的加工、观察、分析至关重要，主要功能和特色有（1）超高分辨率的电镜适合多种试样的极限观察。 （2）超高分辨率的FIB可以进行精确的试样加工，尤适合制备定区域TEM薄片。...

過電子顕微鏡（stem）の活用が欠かせない。ところが、stemの試料作製では集束イオンビーム（fib）加工装置により試料厚を 100 nm前後に薄くする必要があり、熟練の技術者が作業しても迅速に必要な試料数を作製できないという課題があった。これに対し

2012年3月1日 · While TEM samples have been prepared with stand-alone ion-beam columns (often called single-beam FIBs) since the 1990s, the widespread use of FIB sample preparation was facilitated by the introduction of dual-beam FIBs, which combine two independent microscope columns, a focused ion beam and an electron beam, in the same machine.

In this paper, we report the use of the FIB automation function to improve STEM throughput. This enabled us to iterate the fabrication and evaluation expeditiously, accelerate the research and devel-opment, and improve the manufacturing quality of the devices. 2. FIB Automation Function.