SiC聚焦环在机械性能、化学性能、导热性能、耐高温、耐离子刻蚀性能等方面，都强于传统Si： (1) 具有高密度减少蚀刻量； (2) 较高的带隙优秀的绝缘；

根据上面基于多项式环的哈希函数，我们正式定义一下Ring-SIS：我们拥有 a_1, \dots, a_l \in R_ { [q]} 一共 l 个随机生成的多项式，目标是输入一组系数不全部为0的多项式 e_1, \dots, e_l \in R_ {\ {-1, 0, 1\}} 并且使得： a_1e_1 + \dots + a_le_l = 0 \text { mod }qR \\

2013年9月30日 · Ring resonator modulators offer the advantages of small footprint, low power, high efficiency, low loss, high speed, and CMOS compatibility for silicon photonic links. This paper presents an in-depth discussion of practical microring modulators in silicon, covering their performance metrics, design tradeoffs, optimization, p-n junction ...

As we have seen, the SIS problem yields a very simple collision-resistant hash function that is provably secure if worst-case lattice problems are hard: hA(e) = Ae mod q where the key A 2 [q]m n is uniformly random and the input is e 2 f0; 1gm. (Here, we are being less general than before and assuming that our input set is simply f0; 1gm.)

2016年10月3日 · Silicon micro-ring modulators have the potential to enable energy efficient, high-bandwidth-density optical interconnects in CMOS compatible silicon technologies. However, their operation is highly susceptible to any thermal, laser wavelength or process variations and, as such, require a feedback control system for guaranteeing stable modulation.

2021年6月29日 · Modulation linearity of Si ring modulators (RMs) is investigated through the numerical simulation based on the coupled-mode theory and experimental verification. Numerical values of the key parameters needed for the simulation are experimentally extracted. Simulation and measurement results agree well.

Silicon Carbide Seal Ring (SiC Ring) is a lightweight ceramic product with high strength properties comparable to diamond. It has excellent thermal conductivity, low thermal expansion, and is resistant to corrosion from acids. Silicon carbide is an excellent ceramic material for applications requiring good erosion and abrasive resistance.

2019年6月1日 · We propose a systematic procedure for deriving the number and spacing of the FFRs of any ring length required for achieving an arbitrary breakdown voltage. The procedure can be adapted to implement any one of the ring spacing strategies, namely - constant, decreasing or increasing as one moves outward from the main junction.

Hybrid -Ring: Si와 SiC를 결합한 제품으로, 기존 SiC Ring과 비교하면 수명은 짧지만 가격 부담을 낮춘 제품. 존재하지 않는 이미지입니다. 챔버 뚜껑을 열고 교체할 경우 Loss Time 발생, 교체주기가 긴 SiC링이 비싸지만 교체주기와 내구성이 좋아 수요가 높아지고 있음. 존재하지 않는 이미지입니다. 반도체 미세화, 고단화, 더블 스태킹 -> 식각 강도 (플라즈마 파워) 상승 -> 스텝수 증가 -> 부품 소모량 증가. 존재하지 않는 이미지입니다. Focus Ring의 교체주기는 710시간 (2017년 기준) -> 200시간 …

2022年1月29日 · SiC링 (실리콘 카바이드)는 Wafer 가장자리에 위치하여 생산 수율을 높여주는 역할을 하는 Focus 링으로 주로 사용 된다. SiC링은 플라즈마에 대한 내화학성과 내마모성이 좋고, Si, Al 등과의 확산이 없는 것이 특징. Sic링은 CVD 공정으로 제조하고 있으며 시장의 80% 이상을 티씨케이가 독점하고 있음. 존재하지 않는 이미지입니다. 챔버에 쓰이는 부품들의 특징은 크게 3가지로 나타난다. 1. 공정시장 성장과 연동. - 공정의 스텝 수 (공정 수) 성장이 공정시장의 성장을 …