这里我演示如何将实验的csv数据利用 OriginLab 作RSM图。 1. 数据转化. 我们这里拿到的数据是csv格式，数据三列，2theta，omega，intensity，如下图，已将头部冗余的信息删除。 正空间角度数据转换为倒易空间坐标数据，具体的公式如下

同时，快速RSM不再是传统一维XRD曲线，新硬件配置下2min即可获得一张二维图谱，缩短测试时间的同时也会让枯燥的研究工作“看”起来更有趣。 发挥想象，也欢迎投稿有趣的作品。

2024年1月10日 · 高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD) 是一种强大的无损检测方法，其研究对象主要是单晶材料、 单晶外延薄膜 材料以及各种 低维半导体异质结构。 普遍用于单晶质量、外延薄膜的厚度、组分、晶胞参数、缺陷、失配、弛豫、应力等结构参数的测试。 现代HRXRD与常规XRD的区别主要体现在：（1）高度平行且高度单色的高质量X射线；（2）不仅要测试 倒易格点 的位置（角度），还要测试倒易格点的形状（缺陷）；（3）更高的理论要求-动力学理论。 GaN做第三 …

How to determine lattice parameters and crystallographic structures from XRD and RSM patterns of (001), (110) and (111) oriented epitaxial films?

倒易空间映射是一种测量倒易空间图 (RSM) 的高分辨率 X 射线衍射方法。 这些围绕倒易点阵的图可以揭示单线扫描（例如高分辨率摇摆曲线）所提供的信息之外的其他信息。 RSM 通常用于帮助解释峰位移、峰宽化或峰重叠。 外延缓冲层和虚拟基体中晶格应变松弛通常伴随着层倾斜，导致峰值位移。 由于外延应变，摇摆曲线中不对称反射的布拉格峰也会移位。 半导体外延层中的不匹配和穿透位错可以在传统的高分辨率摇摆曲线测量中引起峰宽化和峰重叠。 测量 RSM 是一种隔 …

X-ray diffraction techniques like rocking curves (RCs) and reciprocal space mapping (RSM) enable the correlation of structural properties to the epitaxial growth processes, to electrical/optical properties, and to device performances.

2024年4月17日 · Reciprocal space mapping (RSM) separates these effects, allowing precise measurement of Bragg peak positions. This capability is crucial for determining strain, lattice relaxation, composition, and layer thickness in multilayer thin films. The following section discusses the steps in RSM.

Reciprocal space mapping is a high-resolution X-ray diffraction method to measure a reciprocal space map (RSM). These maps around reciprocal lattice spots can reveal additional information beyond that provided by single line scans such as high-resolution rocking curves.

2020年12月22日 · 本文介绍了如何将CSV格式的衍射数据利用OriginLab转换并绘制X射线倒易空间图(RSM)。 首先，通过公式将正空间角度转化为倒易空间坐标，接着在Origin中导入数据，使用plot-contour-color fill作图，并对图像的显示模式、颜色和轮廓线进行设置。

Reciprocal Space Map (RSM) measurements are often employed for the characterization of epitaxial thin films. In this section, XRD geometries for Reciprocal Space Maps (RSMs) using multidimensional detectors will be briefly explained. A schematic drawing of XRD geometries of RSMs is shown in Fig. 1. Detailed explanations can be found in