硅片平整度知识介绍 - 百度文库
定义：FPD =± Max ( |a| , |b| ) ( SEMI标准中为GFLD ) 说明： 1. 如果|a| > |b| ，则FPD取正值；反之取负值； 2.参考平面G (bf)为距Wafer上表面所有点截距之和最小的平面； Warp
晶圆尺寸特征参数与影响 - CSDN博客
2024年9月22日 · 晶圆平整度有区分为全硅片正面平整度、背面平整度、局部平整度等，通常用GBIR、SBIR等表示。 GBIR是FQA内距离理想背面参考点的最大距离和最小距离的范围。 不 …
硅片平整度知识分享介绍.ppt 23页 - 原创力文档
2018年4月27日 · 如果|a| |b| ，则FPD取正值；反之取负值； 2.参考平面G (bf)为距Wafer上表面所有点截距之和最小的平面； Warp 定义：Warp=| a | + | b | 说明： 1.参考平面M为距曲 …
As Figure 5 shows, the wafer is held to an ideally flat backside plane. In this case, the reading of flatness simply becomes the maximum minus the minimum distance from the wafer backside, …
ウェーハ測定項目解説｜技術紹介｜平面度測定機・三次元測定機…
ttv (semi名称:gbir) 平坦なチャック面にウェーハ裏面を全面吸着させ、ウェーハ裏面からの最低点を最高点から差し引いた値です。 つまり、ウェーハ裏面を基準とした厚みムラとなります。
平坦度・形状測定装置｜株式会社コベルコ科研LEO事業本部
GBIR（TTV）は、ウェーハを吸着固定した際の厚さ（裏面基準平面からの距離）の最大値と最小値の差として定義されています。 GBIR は、自然状態での表・裏面形状の測定結果から、計 …
(GBIR), which evaluates the thickness variation of an entire wafer. The GBIR is defined by the difference between the maximum and minimum values of thickness distribution. Site flatness, …
硅片平整度知识介绍 - 豆丁网
2006年4月20日 · 2.参考平面G(bf)为距Wafer上表面所有点截距之和最小的平面； 6. Warp. 定义：Warp=|a|+|b| 说明： 1.参考平面M为距曲面Medianplane. 所有点截距之和最小的平面； 2.不 …
硅片平坦度常识介绍[最新] - 豆丁网
2014年12月17日 · 1.考平面参Gi通识每一识元识的中心且平行于wafer上表面的识合平面bfG； 2.G识距识元识上每一点截距最小的平面； 3.STIRmax=Max(STIR1,STIR2,...,STIRn)；
The “eXtremely accurate CALIBration InterferometeR” (XCALIBIR) is a precision phase measuring interferometer with an operating wavelength of 633 nm and a test beam of 300 mm …