COF2的GWP值约为l，大气寿命近似为零，环境非常友好。 与传统清洗 剂C2F6、NF3相比，COF2的环境友好优势非常明显，具有低的GWP和MMTCE， GWP值COF2／NF3＝1／10970，COF2／C2F6＝1／9200；MMTCE值COF2／NF3＝1／10， COF2／C2F6＝1／100。 另外，COF2爆炸可能性为O，与Sill4混合的安全比例范围非 常宽。 尽管COF2属有毒物质，但废气可通过后续水洗涤轻易去除，后处理系统简 单，后处理成本低。 …

大気中のCO2やメタンも温暖化の原因の一つですが、温室効果ガスは地球温暖化係数（GWP：Global Warming Potential）が非常に高く、温室効果の大きいものです。

Since 1995 (before COP3), we at Samco have been researching systems that capture and disintegrate perfluorocarbon compounds (PFCs). This article introduces Samco’s recent research on dry etching with carbonyl difluoride (COF2), which has lower global warming potential (GWP) than tetrafluoromethane (CF4) and trifluoromethane (CHF3).

2025年3月5日 · Discover greener plasma cleaning solutions in semiconductor manufacturing—explore how low-GWP alternatives like Carbonyl Fluoride (COF2) can help reduce emissions and support sustainable innovation.

2017年3月24日 · 高島正之等 [1]提出了一种使用CO2与F2在气相下直接反应制备COF2的方法，发现CO2和F2的反应摩尔比必须控制在合适的范围之内，过低则副产物CF4的生成量过大，收率较低，过高反应活性较低。 此外，该方法对于反应温度的要求也严格，过高则会导致大量生成副产物CF4，过低则会降低产率。 使用该方法生产COF2的最高收率仅为47 %，收率较低，未反应的原料气会增加后期纯化的负担，不利于工业化生产。 相比于CO2，更多的报道关注将CO和F2直接 …

Here, two new metrics are proposed, which are based on a simple analytical climate model. The first metric is called the Global Temperature Change Potential and represents the temperature change at a given time due to a pulse emission of a gas (GTPP); the second is similar but represents the effect of a sustained emission change (hence GTPS).

无线传输碳酰氟检测仪ap-g-cof2-4性能介绍 星级： 4 页 使用F2及COF2进行等离子体蚀刻和等离子体腔室清洁的方法

The global warming potential (GWP) of COF2 is approximately 1, the level of carbon dioxide (CO2). This value is very small compared with GWP of 23,900 for sulfur hexafluoride (SF6), a typical etching gas.

在 全氟化合物 的基础上引入特定的结构或 官能团 以加速分子在大气中的降解速率，开发新型绝缘气体的核心思想是减少分子在大气中的停留时间和在“ 大气窗口 区”的吸收强度，同时确保其良好的绝缘性能。 七氟异丁腈，又称全氟异丁腈， 结构式 （CF3）2FCN，与SF6不同。 氰基的引入提供了与OH自由基反应的可能性，因此代表了在大气环境中快速降解的重要途径。 基于相关方法的实验 测试平台，（CF3）2FCCN的大气寿命为54年，其 GWP值 为1705，与SF6相比显著降低 …

作为新一代工业半导体设备的清洗和蚀刻材料，碳酰氟具有极低的全球变暖潜能值（gwp≈1），极低的破坏臭氧层潜能值（odp＝0），极低的大气寿命（＜1a），是一种环境友好型电子气体。